針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，可通過橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測量，橢偏測量頭快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析

一、概述
SE-i是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

二、測試案例

成膜工藝監(jiān)控

膜厚表征

三、產(chǎn)品應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。