針對微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量定制的專用型光譜橢偏儀
一、概述
SE-m 是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量的專用型光譜橢偏儀，其采用 1  超小微光斑探測測量技術(shù)， 2 定制超快測量速度等技術(shù)。可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測量，完美適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。

二、特色功能
■ 可定制光斑尺寸，最小可達(dá)30um；
■ 超快測量，單次測量時(shí)間小于0.5秒 ；
■ 系列配置靈活，支持功能定制設(shè)計(jì)；
■ 結(jié)構(gòu)緊湊，更適應(yīng)在線集成測量。
三、測量實(shí)例
微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量

四、應(yīng)用場景 
應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測量，完美適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測應(yīng)用。