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型號 |
PM100 |
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等離子發(fā)生源 |
低頻高電壓電源，輸出約100W，周波數60KHz、輸出電壓10kV |
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電機構造 |
電容型 2分割 |
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氣體流量計 |
氧氣用、流量30～300mL/min |
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真空調整閥門 |
抽真空用，回大氣用 |
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反應腔尺寸 |
內徑100mm×深度最大約200mm |
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外形尺寸（寬×深×高mm） |
310×300×448 |
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電源 50/60Hz |
AC100V 10A（含真空泵Max7A） |
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真空泵接口 |
外徑Φ6.35mm（推薦真空泵排氣速度30L/min） |
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氣體接口 |
外徑Φ6.35m |
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